LEXa-20

LEXa-20｜株式会社ホロン

AIでフォトマスクの異物を判別し、電子ビームによる観察と元素分析を行う産業用装置。

低真空によって試料の帯電の影響を抑え、異物の自動判別と位置合わせを支援する。光学式の欠陥検査装置と座標を連携し、元素の分布を可視化する機能を備える。

機能・AIによる判別：異物を自動で判別し、観察対象の位置合わせを行う／確認 2026-09-15／https://www.holon-ltd.co.jp/product/lexa.html

機能・検査連携：光学式欠陥検査装置からの座標リンクを案内／確認 2026-09-15／https://www.holon-ltd.co.jp/product/lexa.html

機能・分析：低真空下での観察・元素分析と元素マッピングに対応／確認 2026-09-15／https://www.holon-ltd.co.jp/product/lexa.html

対象：半導体・フォトマスク製造の欠陥解析担当者。形式：電子ビームによるフォトマスク欠陥レビュー・分析装置。言語：公式製品説明は日本語。利用条件：詳細仕様・装置構成はメーカーへの問い合わせ。

確認事項（編集部）：装置一体型の検査用途である。対象マスク、既設検査装置の座標連携、分析条件、搬入・保守要件を個別に確認する。唯一という宣伝表現は比較検証済みの事実として採用しない。

出典：株式会社ホロン「LEXa-20 | 公式製品・サービス情報」／公開・更新日：ページで特定せず／確認日：2026-09-15／https://www.holon-ltd.co.jp/product/lexa.html

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