LEXa-20

LEXa-20｜株式会社ホロン

AIでフォトマスクの異物を判別し、電子ビームによる観察と元素分析を行う産業用装置。

フォトマスクの異物を観察・分析する電子ビーム装置です。低真空で帯電の影響を抑え、AIによる異物の判別や位置合わせ、元素分析を行う構成を案内しています。光学式欠陥検査装置との座標連携と元素マッピングを備える、特定の製造工程向けの装置です。

機能・AIによる判別：異物を自動で判別し、観察対象の位置合わせを行う／確認 2026-09-15／https://www.holon-ltd.co.jp/product/lexa.html

機能・検査連携：光学式欠陥検査装置からの座標リンクを案内／確認 2026-09-15／https://www.holon-ltd.co.jp/product/lexa.html

機能・分析：低真空下での観察・元素分析と元素マッピングに対応／確認 2026-09-15／https://www.holon-ltd.co.jp/product/lexa.html

対象：フォトマスクの欠陥検査から異物の観察・元素分析までのつながりを確認する製造・解析担当者。。形式：電子ビームによるフォトマスク欠陥レビュー・分析装置。言語：公式製品説明は日本語。利用条件：詳細仕様・装置構成はメーカーへの問い合わせ。

確認事項（編集部）：装置一体型の検査用途である。対象マスク、既設検査装置の座標連携、分析条件、搬入・保守要件を個別に確認する。唯一という宣伝表現は比較検証済みの事実として採用しない。

出典：株式会社ホロン「LEXa-20 | 公式製品・サービス情報」／公開・更新日：ページで特定せず／確認日：2026-09-15／https://www.holon-ltd.co.jp/product/lexa.html

欠陥検査の座標を引き継ぎ、同じ異物を分析できるか確認したい

編集部の整理 · 2026-09-15

欠陥の座標を受け取れても、目的の異物へ正しく移動できたかは別に確認します。マスクの向き、座標原点、対象の識別子を一組にし、検査画像と観察画像を対応させます。位置合わせ、異物の判別、元素の分析結果を分けて残すと、どの工程の再確認が必要かを整理できます。

以下は公開情報を踏まえた手順の提案です。当社による製品検証・受講・実読の結果ではありません。

1. 検査から渡す情報を確認する：対象マスク、検査装置、座標形式、向き、欠陥IDを記録します。連携可能な形式と変換の担当をメーカーへ確認します。

2. 観察対象の一致を確かめる：既知の異物を使い、元の画像と観察位置を対応させる評価を相談します。位置のずれと異物分類の誤りを分けて記録します。

3. 分析条件と記録をそろえる：真空や照射の条件、分析時間、元素マップ、再測定の条件を確認します。保守や校正を含めて導入範囲を整理します。

汎用のAI開発サービスではなく、フォトマスク工程向けの装置です。判別精度、対象試料への影響、連携仕様、設置・保守は個別評価が必要で、掲載だけで適合を保証しません。