HSS-1000

HSS-1000｜株式会社ホロン

AIによるビームの焦点・位置の補正と画像ノイズ低減を用いるフォトマスク寸法測定装置。

電子顕微鏡の画像を使ってフォトマスクの微細パターンを計測する。AIが焦点や位置ずれを予測して補正し、画像のノイズを減らす。曲線パターンの輪郭抽出とエッジ位置の測定も案内している。

機能・予測補正：AIで電子ビームの焦点・位置ずれを予測して補正する／確認 2026-09-15／https://www.holon-ltd.co.jp/product/z.html

機能・画像処理：AI技術によるDe-noise処理で電子顕微鏡画像のノイズを低減する／確認 2026-09-15／https://www.holon-ltd.co.jp/product/z.html

機能・輪郭計測：曲線パターンの輪郭を抽出し、エッジ位置を測定する機能を案内／確認 2026-09-15／https://www.holon-ltd.co.jp/product/z.html

対象：EUVフォトマスク製造の寸法計測・品質担当者。形式：電子ビームによるフォトマスクパターン寸法測定装置。言語：公式製品説明は日本語。利用条件：詳細仕様・装置構成はメーカーへの問い合わせ。

確認事項（編集部）：同じページのZX・ZX-Dとはモデルを区別する。AI機能はHSS-1000の記述を根拠とし、他モデルにそのまま適用しない。試料への影響、必要な測定精度、搬送条件を実機条件で確認する。

出典：株式会社ホロン「HSS-1000 | 公式製品・サービス情報」／公開・更新日：ページで特定せず／確認日：2026-09-15／https://www.holon-ltd.co.jp/product/z.html

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