HSS-1000

HSS-1000｜株式会社ホロン

AIによるビームの焦点・位置の補正と画像ノイズ低減を用いるフォトマスク寸法測定装置。

フォトマスクの微細パターンをSEM画像で観察し、寸法を測定する装置です。AIによるビームの焦点・位置ずれの予測補正とノイズ低減を案内しています。曲線パターンの輪郭抽出、低入射エネルギーでの観察、低真空とVUV光を使う帯電対策も掲載されています。

機能・予測補正：AIで電子ビームの焦点・位置ずれを予測して補正する／確認 2026-09-15／https://www.holon-ltd.co.jp/product/z.html

機能・画像処理：AI技術によるDe-noise処理で電子顕微鏡画像のノイズを低減する／確認 2026-09-15／https://www.holon-ltd.co.jp/product/z.html

機能・輪郭計測：曲線パターンの輪郭を抽出し、エッジ位置を測定する機能を案内／確認 2026-09-15／https://www.holon-ltd.co.jp/product/z.html

観察条件・帯電への対策：HSS-1000の特徴として、低真空とVUV光を併用する帯電対策を掲載。／確認 2026-09-15／https://www.holon-ltd.co.jp/product/z.html

対象：微細なフォトマスクパターンの寸法評価で、画像処理と測定結果の再現性を確認する計測・製造担当者。。形式：電子ビームによるフォトマスクパターン寸法測定装置。言語：公式製品説明は日本語。利用条件：詳細仕様・装置構成はメーカーへの問い合わせ。

確認事項（編集部）：同じページのZX・ZX-Dとはモデルを区別する。AI機能はHSS-1000の記述を根拠とし、他モデルにそのまま適用しない。試料への影響、必要な測定精度、搬送条件を実機条件で確認する。

出典：株式会社ホロン「HSS-1000 | 公式製品・サービス情報」／公開・更新日：ページで特定せず／確認日：2026-09-15／https://www.holon-ltd.co.jp/product/z.html

鮮明なSEM画像と、再現性のある寸法測定を分けて評価したい

編集部の整理 · 2026-09-15

見やすい画像が得られることと、同じ対象の寸法を安定して測れることは、別の確認項目です。対象パターン、撮像条件、輪郭を定める条件を記録して繰り返し測定する計画を作ります。ノイズ処理や補正を変更した場合は、見た目に加え測定値への影響を確認します。

以下は公開情報を踏まえた手順の提案です。当社による製品検証・受講・実読の結果ではありません。

1. 評価するパターンを指定する：直線・曲線、材料、寸法範囲、測定位置を整理します。現行の測定方法と判断基準をメーカーへ共有します。

2. 同じ条件で繰り返す：撮像条件、補正、ノイズ処理、輪郭抽出の設定をそろえます。同じ対象を測った値と測定時刻を残す評価を相談します。

3. 条件変更時の再確認を決める：材料変更、保守、ソフトウェア更新の後に何を再測定するか決めます。処理前の記録と結果をどこまで保存できるか確認します。

製品紹介の1.6nmノードという記述は測定誤差の値ではありません。同ページのZX・ZX-Dの説明をHSS-1000の仕様へ混ぜず、装置構成と受入条件を個別に確認します。